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原子層沉積技術有助推動半導體製程微縮 (2025.02.08) 隨著半導體製程技術的持續進步,晶片微縮已達到物理極限,傳統的光刻技術面臨挑戰。在此背景下,原子層沉積(Atomic Layer Deposition,ALD)技術因其薄膜沉積精度,成為推動半導體微縮的關鍵技術之一 |
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[半導體展] 經部發表52項前瞻技術 2奈米鍍膜設備首亮相 (2023.09.07) 經濟部於「SEMICON TAIWAN 2023」開幕首日舉行的科專成果主題館(展位:N0476)開幕儀式中,發表多項全球領先技術,包括「全球散熱能力最強的相變化水冷技術」,可達全球最高千瓦散熱水準,超越目前散熱技術1倍以上,符合未來AI與資料中心建置需求,現已與一詮精密合作生產,順利交貨由多家國際AI晶片大廠驗證中 |
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田中貴金屬確立液體釕前驅物2段成膜製程 助10nm以下微縮 (2022.06.24) 田中貴金屬工業株式會社宣布,確立液體釕(Ru)前驅物「TRuST」的2段成膜製程。「TRuST」是前驅物,對氧和氫兩者具備良好的反應性,能夠形成高純度的釕膜。本製程是一種2段ALD成膜製程(ALD=Atomic Layer Deposition),先利用氫成膜形成較薄的防氧化膜,再以氧成膜實現高品質的釕膜 |
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默克以創新材料驅動先進半導體微型化發展 (2020.09.24) 默克今日在SEMICON Taiwan 2020分享半導體科技趨勢與技術演進。默克在電子材料領域具百年根基,並擁有能推進下世代製程技術、晶片與應用領域之材料解決方案實力。繼去年宣布併購慧盛先進科技和Intermolecular公司後 |
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儀科中心攜手天虹科技 打造12吋叢集式原子層沉積ALD設備 (2020.09.08) 國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心(國研院儀科中心)表示,台灣半導體產業是政府六大核心戰略產業發展重點之一。日前國研院與台灣半導體設備供應商天虹科技股份有限公司合作 |
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3D FeFET角逐記憶體市場 (2019.11.25) 愛美科技術總監Jan Van Houdt解釋FeFET運作機制,以及預測這項令人振奮的「新選手」會怎樣融入下一代記憶體的發展藍圖。 |
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延續摩爾定律 默克大力研發創新半導體材料 (2016.09.14) 摩爾定律正面臨技術瓶頸,半導體業者微縮製程日益困難,先進的封裝技術日益重要。看準此一機會,先進半導體材料供應商Merck(默克)近年來積極研發先進製程材料,且大舉併購了AZ Electronic Materials(安智電子材料)、SAFC Hitech(賽孚思科技),以及Ormet Circuits,以提供客戶更完整的解決方案 |
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單元六:真空鍍膜設備之真空零組件及原子層沉積技術 (2012.08.30) 課程介紹
本課程將介紹真空鍍膜設備之各種真空零組件,如真空邦浦、真空法蘭、管接頭、真空閥門、氣體閥、真空計等,以及其相關應用,讓學員了解真空鍍膜設備之各種真空零組件及其應用,增進職場真空技能知識 |
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單元五:OLED元件與量測分析實作 (2012.08.16) 課程介紹
實驗室實際操作課程,限額20人,名額有限,請速報名!!
本課程將帶學員進入工研院中興院區實驗室,實際介紹與操作OLED製作流程及量測分析系統,期讓學員了解OLED元件的製作過程與量測分析系統技術,並以實際操作經驗,由講師現場解惑,協助學員掌握OLED製程及量測的完整概念 |
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單元三:超低色溫OLED元件產業應用、量測與實作 (2012.07.19) 課程介紹
實驗室實際操作課程,限額20人,名額有限,請速報名!!
照明光源有高色溫與低色溫之別,雖然白天適合使用高色溫、藍光多的白光,但若入夜後繼續使用高色溫或含有高度藍光的光源,將影響褪黑激素,除了失眠、生理失序,甚至可能引發諸多癌症,超低色溫則可降低罹癌風險,改善夜間照明 |
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單元二:高效率(橘或黃光)OLED元件結構設計、量測與實作 (2012.07.05) 課程介紹
實驗室實際操作課程,限額20人,名額有限,請速報名!!
本課程將深入淺出剖析OLED可侵入性現有產業技術之特質,介紹發光元件效率的理論上限以及高效率OLED的設計原理,而從OLED特具的侵入性優勢,可以了解此一技術未來的特色產品、市場方向;對高效率OLED設計的了解,可以掌握發展OLED產業的關鍵所在 |
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OLED關鍵製程、設備與量測分析技術系列課程 (2012.06.21) 課程介紹
顯示器面板產業近來相當熱門的OLED技術,早在2001年日本就率先應用於手機面板,而隨著韓國在製程與良率的急起直追,目前的OLED設備與製程是分別由日本及韓國領先的局面;但隨著未來OLED面板面臨大型化 |
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原子層沉積複雜的奈米結構合成與表面工程-原子層沉積複雜的奈米結構合成與表面工程 (2012.01.18) 原子層沉積複雜的奈米結構合成與表面工程 |
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In2S3的原子層沉積和太陽能轉換為二氧化鈦奈米管陣列及其敏化應用-In2S3的原子層沉積和太陽能轉換為二氧化鈦奈米管陣列及其敏化應用 (2011.12.08) In2S3的原子層沉積和太陽能轉換為二氧化鈦奈米管陣列及其敏化應用 |
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高貴的金屬薄膜的原子層沉積-高貴的金屬薄膜的原子層沉積 (2011.11.28) 高貴的金屬薄膜的原子層沉積 |
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奈米膜為非晶氧化物半導體薄膜晶體管的高 κ 柵門電介質的原子層沉積-奈米膜為非晶氧化物半導體薄膜晶體管的高 κ 柵門電介質的原子層沉積 (2011.09.26) 奈米膜為非晶氧化物半導體薄膜晶體管的高 κ 柵門電介質的原子層沉積 |
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原子層沉積二氧化鈦在光波導應用-原子層沉積二氧化鈦在光波導應用 (2011.07.29) 原子層沉積二氧化鈦在光波導應用 |
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原子層沉積氧化鋁為表面鈍化的高效率多晶矽太陽能電池-原子層沉積氧化鋁為表面鈍化的高效率多晶矽太陽能電池 (2011.07.15) 原子層沉積氧化鋁為表面鈍化的高效率多晶矽太陽能電池 |
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原子層沉積層中的微機電制程-原子層沉積層中的微機電制程 (2011.05.30) 原子層沉積層中的微機電制程 |
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原子層沉積ZnS電致發光,SrS,薄膜BaS-原子層沉積ZnS電致發光,SrS,薄膜BaS (2011.01.21) 原子層沉積ZnS電致發光,SrS,薄膜BaS |