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科磊推出新款電子束檢測系統 (2003.06.20)
美商科磊公司(KLA-Tencor)近期推出一套能在量產生產線中監控電子的電子束檢測工具—eS30，能協助晶片製造商排除130奈米以下製程的主要障礙。在晶片製造商的研發生產線中，電子束檢測技術的重要性持續升高，另一項同樣重要的因素是偵測出在生產過程中重複出現的新缺陷，這些缺陷不僅會影響良率，並會大幅降低晶圓廠的投資報酬率 |
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科磊啟用台灣線上客戶支援中心 (2003.03.21)
美商科磊公司(KLA-Tencor)近期在台灣成立亞太地區第一座線上支援中心。台灣線上支援中心(OSC)聘請中文專業技術人員，並採用KLA-Tencor的iSupportO e-diagnostics電子偵測技術，以協助台灣、中國大陸、以及東南亞地區的客戶妥善維護KLA-Tencor機台，同時進一步降低KLA-Tencor的服務成本 |
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