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Gigaphoton开发光谱宽度控制技术hMPL (2017.09.12)
半导体光刻光源供应商Gigaphoton 株式会社宣布，公司已经开发出采用最新光学设计制造技术的光谱宽度控制技术“hMPL。hMPL已经在晶片厂家的实机测评中获得高度评价，今後或将用於先进的半导体制造工艺
抢占领先地位欧、日巨资投资EUV技术 (2002.10.28)
自英特尔（Intel）名誉主席Gordon Moore于今年7月对外表示，唯有开发EUV（超紫外光线）技衖，摩尔定律才能再次回到二年一个周期的定律，根据外电消息，欧洲、日本为达到半导体技术领先的目标，不惜巨资投资开发EUV系统；众多欧盟成员国未来将对EUV各项领域，投资1亿美元研发；日本多企业也分别成立EUV计画小组


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