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Gigaphoton開發光譜寬度控制技術hMPL (2017.09.12)
半導體光刻光源供應商Gigaphoton 株式會社宣佈，公司已經開發出採用最新光學設計製造技術的光譜寬度控制技術“hMPL。hMPL已經在晶片廠家的實機測評中獲得高度評價，今後或將用於先進的半導體製造工藝
搶佔領先地位　歐、日巨資投資EUV技術 (2002.10.28)
自英特爾（Intel）名譽主席Gordon Moore於今年7月對外表示，唯有開發EUV（超紫外光線）技衖，摩爾定律才能再次回到二年一個周期的定律，根據外電消息，歐洲、日本為達到半導體技術領先的目標，不惜巨資投資開發EUV系統；眾多歐盟成員國未來將對EUV各項領域，投資1億美元研發；日本多企業也分別成立EUV計畫小組


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