光電及半導體堪稱我國的「國寶產業」，其都有賴高精密度的設備、於高潔淨度的環境中生產製造終端產品。台灣半導體產業從晶片設計、晶圓製造、封裝測試擁有完整的供應鏈，目前IC設計業在全球排名第二，占有率約三成，晶圓製造的全球市占率已達七成以上，與封裝測試則都是全球首屈一指。2004年全球景氣復甦，在LCD TV及PDP TV銷售增加帶動下，平面顯示器（Flat Panel Display, FPD）市場快速成長，預期面板產業未來成長將大於半導體，目前產能上已進行第七代廠的投產;發光二極體（LED）產業也逐步上揚，其中的白光LED用在照明用途上，10年後產值將超過LCD市場。從以上的簡要分析，可清楚了解發展我國光電及半導體製程設備產業的腳步，實已刻不容緩。

工研院機械所執行經濟部科技專案計畫，巳成功發展出多項相關的製程設備及相關潔淨技術，為使更多業者分享此豐碩成果，特舉辦此研討會，敬邀產、官、學、研之先進共襄盛舉。