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CTIMES / 控片檢測系統
科技
典故		 什么是Hypertext(超文件)？Hypertext的发展简史

所谓超文本 (hypertext)就是将各类型的信息分解成有意义的信息区块，储存在不同的节点 (node)，成为一种与传统印刷媒体截然不同的叙事风格。1965年，Ted Nelson首创Hypertext一词，Andy van Dam et al则在1967年建立了Hypertext的编辑系统。
KLA-Tencor全新控片检测系统提升芯片生产开发 (2008.09.08)
KLA-Tencor公司推出专为IC市场设计的全新控片检测系统Surfscan SP2XP，这套新的系统是去年KLA-Tencor针对晶圆制造市场推出的同名工具。全新的Surfscan SP2XP对于硅、多晶硅和金属薄膜缺陷具备更高的灵敏度，相较于前一代产品Surfscan SP2，Surfscan SP2XP加强了依据缺陷类型及大小分类的能力，并配备真空搬运装置和业界最佳的生产能力

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