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应用材料取得两项低介电技术专利授权 (2001.11.28) 应用材料公司宣布取得美国专利商标局第6,287,990号与第6,303,523两项专利授权,范围涵盖运用于介质化学气相沉积薄膜技术的先进低介电材料,将可增加下一世代芯片的速度及工作效能 |
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应用材料推出Ultima X HDP-CVD设备 (2001.06.07) 应用材料公司Ultima高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD:High Density Plasma - Chemical Vapor Deposition)家族再添新成员。新推出的Ultima X设备将提供下一世代组件所须的隙缝填补能力,包括先进的浅沟隔离(STI:Shallow Trench Isolation)、金属层间介质沉积(IMD: Inter-Metal Dielectric)和前金属介质沉积(PMD: Pre-Metal Dielectric)等制程应用 |
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联电12吋晶圆厂采用应用材料300mm Producer S制程设备 (2001.03.12) 应用材料公司宣布联华电子已经采购该公司Producer S 300化学气相沉积制程设备,并且安装在台南科学园区内的12吋晶圆厂。应用材料已是目前半导体业界12吋晶圆制程设备的主要供货商,这次的采购行动则进一步强化了应用材料的领导地位 |
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应用材料低k介电常数制程获得台积电选用 (2001.01.18) 应用材料公司的黑钻石(Black Diamond)化学气相沉积低k介电常数薄膜制程,已被全球最大专业晶圆制造服务的台湾集成电路公司选用,将用来支持其最先进的高效能0.13微米铜导线制程 |