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盛美半導體獲多台Ultra ECP map及ap電鍍設備訂單 (2022.03.01) 盛美半導體設備宣佈,獲得13台Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備及8台Ultra ECP ap後道先進封裝電鍍設備的多個採購訂單,其中10台設備訂單為一家中國頂級積體電路製造廠商的追加訂單 |
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盛美上海推出新型化合物半導體設備 加強濕法制程產品線 (2022.01.28) 盛美半導體設備(上海)宣布,推出支援化合物半導體製造的綜合設備系列。公司的150-200毫米相容系統將前道積體電路濕法系列產品、後道先進晶圓級封裝濕法系列產品進行拓展,可支援化合物半導體領域的應用,包括砷化鎵 (GaAs)、氮化鎵 (GaN) 和碳化矽 (SiC) 等制程 |
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