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工研院機械所半導體後段製程設備研產成果豐碩 (2000.02.14)
工業技術研究院機械工業研究所研發半導體後段製程設備中的精密快速取放和黏晶控制技術，已分別獲得我國和美國的專利，運用此技術延伸開發出IC晶粒揀選機等，獲業界矚目


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