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Crossing Automation推出优化真空晶圆搬运系统 (2009.02.02)
Crossing Automation公司推出ExpressConnect，一个为真空晶圆搬运系统所提供的自动化部件模块产品系列。其中性方式（neutral approach）的结构取代了大部分集束型设备常见的传统集中化晶圆搬运设计，并且可减少20-70%的所占空间，具有更高的弹性、更低的成本、更高的生产力和吞吐量高达每小时250片晶圆


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