课程介绍

本课程将介绍真空镀膜设备之各种真空零组件，如真空邦浦、真空法兰、管接头、真空阀门、气体阀、真空计等，以及其相关应用，让学员了解真空镀膜设备之各种真空零组件及其应用，增进职场真空技能知识。

同时介绍ALD设备沉积原理与其在OLED封装制程上之应用，透过ALD设备技术的了解，可以使学员了解OLED阻水阻气关键制程之应用。

讲师介绍

陈工程师---工业技术研究院机械所

王副组长---工业技术研究院机械与系统研究所 副组长

其他内容

06/21一 AMOLED关键设备与制程技术开发

07/05二 高效率(橘或黄光)OLED组件结构设计、量测与实作（清华大学实验室实作）

07/19三 超低色温OLED组件产业应用、量测与实作（清华大学实验室实作）

08/02四 OLED材料及蒸镀技术应用发展与趋势

08/16 五 OLED组件与量测分析实作（工研院实验室实作）

08/30六 真空镀膜设备之真空零组件及原子层沉积技术于光电组件之应用