CTIMES - 極紫外光微影

CTIMES / 極紫外光微影

科技
典故

OASIS是一個非營利的機構，其作用在於發展、整合，以及統一世界各地電子商業所需要的專用標準。OASIS並制定出全球電子商業的安全標準、網路服務、XML的標準、全球商業的流通，以及電子業的出版。

Fractilia將隨機性誤差量測導入晶圓廠提升EUV管控與良率 (2023.02.22)
Fractilia宣布Fractilia Automation Metrology Environment（FAME）產品組合推出最新生力軍：FAME 300。專為量產（HVM）晶圓廠製造環境所設計的FAME 300，可針對先進節點之微影圖案化誤差最大來源隨機效應（stochastics effects），提供即時測量、檢測與監控