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陶氏電子擴大竹南CMP技術中心 化學機械研磨墊產能增加 (2018.03.26) 陶氏電子材料,為陶氏杜邦特種產品事業部旗下的事業單位,3/26於竹南的亞洲 CMP (化學機械平坦化)製造和技術中心舉行第四期擴廠的剪綵典禮。新廠房將擴大化學機械研磨墊的生產業務 |
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陶氏電子材料推出化學機械研磨墊 (2009.10.07) 陶氏電子材料(Dow Electronic Materials)近日推出了OPTIVISIONTM 4540化學機械研磨墊,該產品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實現低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學組成和細孔結構,以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低,並提供更高的介電層去除率 |
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