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诺发系统宣布开发conformal film deposition技术 (2010.10.19) 诺发系统近日宣布,已经开发conformal film deposition(CFD)技术,可在高宽比4:1的结构上有100%的阶梯覆盖能力。这项创新的CFD技术可以提供32奈米以下在前段制程的需求,例如gate liners、spacers、shallow trench 隔绝的高介电金属闸极(HKMG)liners和用在双曝光技术的spacers |
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诺发发表新一代电浆化学气相沉积制程 (2010.05.05) 诺发系统日前宣布,已在VECTOR PECVD平台上开发出,具有晶圆对晶圆间膜厚变异小于2埃的精密抗反射层薄膜(ARL)。这种新制程采用VECTOR特有的多重平台序列式沉积工艺技术架构(MSSP),以达成沉积的ARL薄膜具有格外均匀的薄膜厚度,折射率(n)和消光系数(K) |
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诺发系统宣告售出第1000台化学气相沉积系统 (2010.02.28) 诺发系统日前宣布,已卖出第1000台化学气相沉积系统给新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7, GLOBALFOUNDRIES为半导体制造技术之供应者,近期并与Chartered Semiconductor Manufacturing进行整合,Fab 7亦会将12吋VECTOR Express应用于65奈米及更先进技术的大量生产 |
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诺发系统启用新型超紫外线热力学制程系统 (2010.02.03) 诺发系统(Novellus)于日前宣布,已导入超紫外线热力学制程系统 SOLA xT,将其应用在先进的45奈米以下的逻辑组件生产,其利用超紫外线的照射来改善前一道制程镀上的薄膜特性,这一新系统可监控紫外线强度及提供客制化的波长光线组合,因此可将系统延用到多世代 |
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诺发SPEED MAX系统扩展应用到32奈米技术 (2009.10.22) 诺发系统宣布开发出一种制造工艺来延伸公司的SPEED MAX系统在隔离浅沟槽(STI)充填沉积应用到32奈米技术节点。这种新工艺技术利用SPEED MAX高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD)的平台发挥动态配置控制(DPC)的功能效果 |
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诺发32奈米介电质技术可解决RC迟滞问题 (2009.04.02) 为了使集成电路组件的性能跟上摩斯定律(Moore’s Law),集成电路设计人员在驱策技术节点缩小化时必需减缓RC迟滞效应。为达到组件缩小所带来的应有的积效进而增加45奈米以下导线间的空间缩小所带来的挑战 |
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诺发系统赢得台积电最佳产品奖 (2006.01.13) 半导体业先进制程生产技术导厂商诺发系统公司,13日宣布台积电(TSMC)以2005年最佳产品奖,认可诺发SABRE NExT铜电化学沉积系统的优异效能。
台积电营运组织副总罗唯仁博士表示:「SABRE NExT的领先技术及其低作业成本与高生产力,是让我们300mm晶圆产量跃升的重要关键因素之一 |
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诺发系统发表次90奈米电介质紫外线热处理系统 (2006.01.05) 半导体沉积、表面处理和化学机械平整化制程厂商诺发系统(Novellus Systems),针对介电薄膜沉积后制程,推出独立式紫外线热处理(UVTP)系统。SOLA针对300mm晶圆量产而设计,可解决下一代消费性电子产品要求的新材料与制造技术需求 |
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诺发系统推出次90奈米电介质紫外线热处理系统 (2005.12.08) 半导体业界先进沉积、表面处理和化学机械平整化制程之生産力及技术领先厂商诺发公司(Novellus Systems),今日针对先进介电薄膜沉积后制程,推出业界首台独立式紫外线热处理(UVTP)系统 |
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科林、诺发、应材纷裁员 (2002.01.21) 多家国际半导体设备大厂在台湾的亚太分公司,最近都传出裁员消息,科林研发(LAM Research)及诺发系统(Novellus)上周都有小幅度的裁员,但科林解释离职员工数相当有限,是例行性的减少不适任员工 |
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三大IC设备厂不参加SEMICON Taiwan (2001.09.11) 半导体界年度盛事国际半导体设备材料展(SEMICON Taiwan)将展开。全球前三大IC测试设备大厂安捷伦(Agilent)、爱德万测试(Advantest)、及晶圆制造设备大厂诺发系统(Novellus),已确定不参加9月17日起举办的第六届SEMICON Taiwan,另辟洽公地点 |