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KLA-Tencor推出探針式表面輪廓測量系統 (2008.07.17)
KLA-Tencor公司發布最新的探針式表面輪廓測量系統P-6,該系統針對光電太陽能電池製造等科學研究與生產環境,提供一組獨特的先進功能組合。P-6系統具備以先進半導體輪廓儀系統開發的測量技術優勢,但採用了較小、較經濟的桌面型機台設計,可接受最大至150釐米的樣本


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