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達思針對濕式蝕刻清洗台製程推出新型使用端有害氣體清除系統 (2013.08.05)
全球半導體產業之廢氣處理技術領導廠商德商達思公司( DAS Environmental Expert GmbH ) 日前針對濕式蝕刻清洗台應用推出使用端(Point-of-Use)有害氣體清除系統SALIX。達思廢氣處理事業部總監Guy Davies博士表示：「此系統完全是因應客戶需求而開發


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