安捷倫科技（Agilent Technologies Inc.）近期推出Agilent B1500A半導體元件分析儀適用的電源量測模組（SMU）以及軟體增強功能。

參數分析儀 BigPic:600x489

新發表的Agilent B1514A 50-μs SMU可在30 V/1 A的電壓電流範圍內，提供更快的脈衝，以及示波器的顯示畫面。而新的Agilent B1511B 經濟型中功率SMU模組具有0.1 fA低電流量測功能，並提供選配的自動感測切換單元。新版EasyEXPERT 5.5軟體支援手動操作外，另亦提供超過300個現成的應用測試功能，讓工程師無需進行複雜的程式設計，便可輕鬆執行遠端測試。

自1980年代初期推出全球第一台數位參數分析儀後，安捷倫就始終如一地提供無可比擬的參數測試效能和價值。為貫徹此一優良傳統，新的Agilent B1500A支援豐富多樣的電壓電流（IV）特性分析（0.1 fA – 1 A/0.5 μV – 200 V）、電容量測（1 kHz – 5 MHz），以及低至ns的超快脈衝/暫態IV量測。

適用於Agilent B1500A半導體元件分析儀的增強功能包括：

1. Agilent B1514A 50 μs SMU支援快速的脈衝量測，使得B1500A增強型分析儀能夠執行脈衝寬度僅50 μs的量測脈衝，比同級的傳統型SMU提供之脈衝量測寬度窄了10倍以上。此外，該分析儀支援高達30 V/1 A的量測範圍和更廣泛的通用性，並具備電壓電流程式設計能力。它還提供描述先進材料與元件特性時不可或缺的脈衝式電流電壓量測功能。工程師可透過適用於Agilent B1514A的EasyEXPERT示波器 檢視畫面，監測實際的電壓與電流波形。有了這項功能，工程師可安心地驗證脈衝量測設定，並且快速輕鬆地調整最佳參數。

2. 工程師可使用新的Agilent B1511B中功率SMU和自動感測切換單元，以經濟有效的方式量測低至0.1 fA的電流，以便執行準確的低電流特性分析，例如漏電流等，進而加速研發新一代裝置。

3. Agilent EasyEXPERT 5.5軟體可協助工程師輕鬆描述元件特性。更新版軟體提供遠端程式控制功能，可執行內建的應用測試。它還具備可用來控制切換矩陣的圖形操作介面（GUI），以及擴充後的應用程式庫，並提供B1514A 50 μs脈衝中電流SMU適用的示波器檢視畫面。EasyEXPERT軟體可在Windows 7平台上運作。利用直覺式GUI，工程師可執行高效率且可重複的裝置特性分析，包括從互動式手動量測，一直到半自動晶圓測試等各種測試。

有了新的B1514A和B1511B SMU模組以及增強版EasyEXPERT軟體，Agilent B1500A半導體參數分析儀可提供完整的元件特性分析解決方案，加上廣泛的通用性、無與倫比的量測可靠性，以及高效率、高度穩定的量測結果。B1500A另提供參數測試必備的所有最新量測功能，以便對裝置、材料、半導體、主動/被動元件，或任何其他類型的電子裝置，進行特性分析和評估。