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雷射輔助切割研磨碳化矽效率
提升化合物半導體產業競爭力

【作者: 陳念舜】   2023年12月26日 星期二

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目前在提升再生能源裝置容量和能源效率,皆有高度關聯性的關鍵技術,莫過於利用化合物半導體來製造高效能功率半導體元件,以承受高電壓、高溫衝擊。台灣廠商還具備過去多年來於矽基半導體產業累積的基礎,且有如工研院等法人單位輔導,正積極投入建立材料開發、雷射輔助加工製程等測試驗證平台和服務,將加速產業聚落成型。


尤其是伴隨著交通運具電動化與提升能源效率等需求,包括:碳化矽(SiC)、氮化鎵(GaN)、InP、Ga2O3、AIN等化合物半導體,因為比起傳統矽基材料(Si-based)具備更寬裕的能隙特性,用來製造高效能功率半導體晶片元件,將可有效減省約50%電能轉換損耗、20%電源轉換系統成本,所以極適合提供高功率(>400V)、高電能轉換效率應用,滿足耐高壓(>800V)、高溫及高頻需求。


工研院在2023年舉行的「南台灣策略論壇」也指出,如今化合物半導體已逐漸導入電動車及充電樁、再生能源發電與傳輸,甚至是低軌衛星、5G/6G高頻通訊、人工智慧(AI)基礎裝置、工業設備等低碳生活模式,減省充電時間和電池成本,而極富有戰略意義。依工研院南分院預估其中SiC晶圓市場快速成長(CAGR~15%),2028年全球規模將達到17億美元。
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