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聯電晶圓廠毒氣外洩事件的省思
 

【作者: 謝馥芸】   2002年06月05日 星期三

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五月十日聯電晶圓廠毒氣外洩,七名員工因而被送入醫院急診室急救,一時媒體爭相報導,有媒體傳出疑管路閥鍵老舊故障,使三亞甲基磷外洩,導致員工吸入微量的毒氣。姑且不論事由為何,由於聯電的低調處理,加上台灣媒體沒有應變此種新聞的能力,因此新聞一下子就炒完,到十一日時已無幾家媒體想報導這個新聞了。


然而不可否認的是,聯電晶圓廠毒氣外洩事件,透露出晶圓廠潛藏的危險性,足以對員工造成嚴重的職業傷害。可惜社會大眾絕少人知道這個問題,因為經濟利益當頭,晶圓廠象徵台灣的經濟榮景,因此公共危險、職業傷害、環保問題等次要議題可以放一邊,而忽略知此事件裡頭所隱含的問題。


關於聯電毒氣外洩這個事件,可以從廠務工安及晶圓廠有毒劑處理來討論。晶圓廠向來在有毒氣體溶劑使用上,均十分的小心,甚至每年都有非常完善的員工健康檢查,藉以保障員工的健康。但是晶圓廠仍然知道,技術員、技工、製程和設備工程師們的危險性並未排除,即使他們不斷教育員工使用有毒溶劑之安全的重要性,還有在晶圓廠內裝置毒氣偵測器及防護措施等等,這些員工仍處於極高危險性的工作環境裡,所以小小的技術員(等於工廠女工)薪水永遠比坐辦公室的行政人員高,只因為他們願意投入這個不定時炸彈裡。


園區廠商真的是十分盡心盡力的教導員工預防災害的知識,比方離子佈植用到的As無色無味,一般人遇到都不知怎麼死的;HF酸會蝕骨,碰到身體某部位時一定得大量沖水;爐管區TEOS等的毒性等等,這些都是晶圓廠教育員工的基本常識,以避免員工受到重挫。


既然廠商有教育員工基本常識,莫非許多晶圓廠之職業傷害,都是員工自找的?這就不一定囉!事實上晶圓廠除了怕毒氣外洩,還怕火災、地震、打雷等不可抗力因素,有時打個雷就跳電,火災一發生就整個製程區都完蛋。除此之外,就算沒有天災人禍,本身這樣的工作場所,其潛在後遺症難論斷,試想一個人一天工作十二小時(依晶圓廠四班二輪制來算),有十個鐘頭以上都必需在生產設備旁,而這個設備只要開開關關,不經意地溢出一些氣體,這個人長期在這樣的環境下,難保沒有所謂的後遺症。可是關於這點卻是廠商與員工所無法預期,每個人都只能任由大環境來擺佈。


重新省視聯電毒外洩問題,其導致員工嚴重中毒,要不就是機台嚴重故障造成的,要不就是人為疏失,再不就是工安設備出問題,反正都是意外之事,才使員工受重傷。機器故障有警示燈對外發出訊號,人為疏失引起的設備問題也能即時警覺,至於工安上若有毒氣外洩或火警發生,廠內也有毒氣偵測器及火警報器立即反應,所以估且讓我們大膽推測,若這些警報器失靈時怎麼辦?晶圓廠也許有更多重的防護措失,可是人卻禁不起一次重創;若延伸到我們生活的外在環境,更是承受不起一次環境破壞;因此如何在現實利益與高風險之危險性之間做訣擇,已是眾人不可迴避的課題了。


事實上,針對此事件,聯電一定會理賠這些員工,可是眼見同事受傷的員工們心理壓力一定很大,畢竟每月月薪才二萬塊錢,要不是聯電股票值錢,福利也很誘人,不然如此賣命,心理還真難平衡。不過讀者也曉得,拿股票的好處是景氣時大家賺錢,壞處卻是不景氣時大家都沒錢,所以在目前不景氣的情況下,加上去年又遭裁員,員工們的心情一定是五味雜陳。


不過這種話題不見得吸引人,因為大家還是強調台灣的競爭優勢,而忘了晶圓廠的危險性。其實政府應該多去檢驗那些六吋晶圓廠(包括做砷化塚等六吋廠),因為這些廠的自動化程度太低了,低到在裡面工作的人,危險性比在十二吋廠來得高。六吋廠的人可能還是用開瓶的方式幫設備灌酸,或者是在爐管區用手直接上下貨,如此看來,他們直接接觸晶圓及有機溶劑的機率實在太高了,高到令人懷疑這些地方的安全性。如此說來,國科會裡的某個位於交通大學的半導體製程研究之實驗室,就是一個最不安全的小型晶圓廠,因為它的經費有限,所以只能買園區裡最老舊的設備,安全設施也不見得比一般晶圓廠好,這樣的環境供學生及研究人員做實驗,實在令人冒冷汗。


當然晶圓廠一定會反駁說它們的自我安全檢查是非常健全的,但是眼見聯電八吋廠都出現問題了,甚至被媒體傳管路閥鍵老舊,倘若管線真的老舊,那六吋廠的管路閥鍵會比較安全嗎?在此建議政府相關單位應該製訂嚴格的檢驗程序,尤其是超過十年以上的晶圓廠,更需要做嚴密的把關,使晶圓廠的安全系統做到滴水不漏;將安全防範圈擴大到晶圓廠內外,確實定義一切關於人的安全性的觀念、範疇,也是當勿之急的事。甚至於晶圓廠毒氣排放是如何管理,也是該關心的重點之一,因為據了解目前毒氣排放是無法可管,大多晶圓廠的毒氣如何處理不得而知,而晶圓廠的先進製程裡包含有連政府相關單位都不認識的氣體,其中有哪些氣體含有劇毒、如何處理及排放至何處等,全是外界難以得知的訊息,所以毒氣外洩問題已不小,毒氣排放更不能視之為小事啊!


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