Rohde & Schwarz現在為DUT片上器件的全面射頻性能表徵提供測試解決方案，該解決方案結合了Rohde & Schwarz強大的R&S ZNA向量網路分析儀和FormFactor業界領先的工程探針系統。

R&S ZNA向量網路分析儀與FormFactor SUMMIT200探針系統一起對晶片進行測量

半導體製造商可以在開發階段、產品認證和生產過程中執行可靠且可重複的片上器件表徵。R&S ZNA向量網路分析儀與FormFactor SUMMIT200探針系統一起對晶片進行測量。

5G RF前端設計師需要確保RF能夠滿足頻率覆蓋和輸出功率，同時優化能效。該過程中的一個重要階段是RF設計調查，以儘早獲得設計回饋，並評估晶圓級的性能。

表徵片上環境中的DUT需要測量系統，該測量系統包括向量網路分析儀（VNA）、探針台、RF探針、電纜或適配器、專用校準方法以及用於特定DUT或應用的校準基板。

為了滿足這些重要的測量要求，Rohde & Schwarz提供了高端R&S ZNA向量網路分析儀，該分析儀可表徵同軸和波導級的所有RF參數，以及用於67 GHz以上應用範圍的頻率擴展器。

FormFactor通過手動、半自動和全自動探針系統解決晶圓接觸問題，包括熱控制、高頻探針、探針定位器和校準工具。包括R&S ZNA在內的整個測試系統的校準完全受FormFactor WinCal XE校準軟體支援。

由於測試設置具備完全校準，用戶可以使用R&S ZNA的所有測試功能。通用S參數測試可以表徵濾波器和有源器件，也可以執行失真、增益和交調測試對功率放大器進行驗證。該聯合解決方案還支援針對混頻器的頻率轉換測量，其相位特性涵蓋器件的整個頻寬。

完全校準的設置還允許用戶直接從VNA獲得所有結果，無需後處理，校準資料直接應用於VNA。Rohde & Schwarz的頻率擴展器開闢了D波段等亞太赫茲頻率，是目前6G研究的重點。擴展器集成到探針台，確保最短的佈線並實現最佳的動態範圍，同時避免由於到探針尖端的佈線造成的損耗。