德商达思公司( DAS Environmental Expert GmbH ) 不仅提供半导体业客户废气处理解决方案，同时也将已安装的系统与独立的中央监控系统联机。随着工厂产能的增加，许多客户逐步成长并扩展废气处理系统。达思废气处理事业部总监Guy Davies博士表示：「我们的解决方案以智能监控工具连接达思和所指定的第三方系统。2013年，我们全面重新设计了废气处理系统监控工具DASMON ，目前并已成功地安装于其中一家国际级客户。当扩充现有厂房时，旧式的DASMON系统往往受限于大量的连接点，然而新版DASMON非常易于扩充，即使是连接到大规模的废气处理系统时亦不成问题。相关的扩充非常快速，且不会因维护作业造成制程中断。」

达思DASMON监控系统升级高效处理晶圆厂大量数据

“自助型系统”

达思软件可读取系统中的所有相关数据数据并自动加以评估。 DASMON使其可监控每服务器达200个系统，不仅不会产生任何问题，并可透过额外的服务器轻易扩充。 目前最大的监控设备区可包含300个系统。透过每日收集和分析1200万笔数据记录，将可识别随时间变化的趋势，而提供最佳的服务。当发生任何零组件异常时，相关的环保技师将立即加以处理。

达到高效率制程的智能软件

Davies表示：「客户所面临的最大挑战之一，是已安装废气处理系统的维护，因为对于客户的服务通常就意味着中断正在进行的操作。达思的软件解决方案可将维护相关的流程中断降至最低。透过相关工具，设备的进步可使传统的预防性维护提升为预测性维护，单一组件不需定期替换或调整，但维护需求将直接透过讯号通知系统。服务技术人员可从单一监视器画面监视所有已安装的系统，并在其中一个必要参数发散时一眼认出，这就是我们如何锁定介入。透过此次创新，达思的监控工具将可降低维护相关的中断情况，并支持制程和成本优化 。从十个系统起 - 或任何数量的非中央安装废气处理系统 - 使用DAS监控系统将使营运成本显著下降。」

适用于所有系统的单一工具

达思解决方案相当易于安装，其友善用户接口更能在不需调整任何软件的情况下，轻易地整合不同制造商的方案。根据所收集的数据，达思将于每季发布软件更新讯息，以不断调适监控工具，使其满足不同客户的特定需求。 自2013年4月，就在开发阶段仅仅一年之后，相关的解决方案便成功获得其中一家欧洲客户采用，而所降低的成本和提高的效率，更证明该智能监控工具的真正竞争优势。