安捷伦科技（Agilent）于日前宣布，推出Agilent G200奈米压痕测试仪平台专用的创新奈米压痕技术。其赋予研究人员利用该技术，可快速、容易且对薄膜材料进行基板独立量测。该技术很适合用来评估软基板上硬待测样品的弹性模数，或硬基板上软样品的弹性模数。

台湾安捷伦科技董事长暨电子量测事业群总经理张志铭表示，安捷伦的应用科学家针对存在已久的奈米压痕测试挑战，设计了一款易于操作的智能型解决方案。该新的技术对于各领域正在进行的研究工作，将产生直接的影响。

使用奈米压痕技术来评估薄膜材料的弹性模数时，基板的影响是很常见的问题。假如薄膜材料的厚度和基板模数是已知的，则该技术可以从受基板影响的模数量测值萃取薄膜材料的模数。因此，该技术相当适用于各种薄膜基板系统。

Agilent G200奈米机械测试仪器，其利用电磁启动，在力（force）和位移（displacement）动态范围。此外，Agilent G200并符合ISO 14577标准，可量测杨氏模数和硬度值，并可执行涵盖10的6次方的变形量测 – 从奈米到毫米。