經濟部與業者密集研商含8吋晶圓以下晶圓產業登陸管理機制，在業者質疑可能獨厚台積電與聯電半導體雙雄後，經濟部產官學專案小組放棄總量管制或配額制的審查方式，改採只要符合使用舊廠設備、在台相對投資金額比例大及主要在海外籌資等條件，即優先放行。經濟部官員坦承，上週第一次開會討論晶圓廠登陸管理機制時，幕僚單位曾經建議採總量配額管制，也就是每年准予赴大陸投資的配額量為200億元，但構想一提出，業者反對聲浪四起，認為此舉除了獨厚台積電、聯電半導體雙雄，也擔心每年200億元，頂多只允許三家廠商登陸，配額該分給誰，會有公平性爭議。因此，決定放棄200億元的年投資配額指標。

為避免業者一窩蜂登陸，及考量公平性對晶圓業者提出的大陸投資申請案，經濟部將採「定期受理」審查制，一改過去「先到先審」的做法。此項做法，也可以讓政府針對各家廠商的大陸投資申請計畫，例如根留台灣比重、全球布局迫切性及資金籌措來源情形，進行評比。

經濟部表示，構想中的「定期受理」制，考慮由經濟部定期公布受理晶圓廠商赴大陸投資申請期限。廠商只要在截止受理期限前向投審會提出申請，投審會將依據廠商提出的大陸投資計畫進行審查。經濟部常務次長陳瑞隆二十五日也指出，晶圓登陸的有效管理機制，目前仍停留在作業階段，業者間還在「協商階段」，經濟部沒有預設立場。有關官員透露，經濟部將考慮以業者舊廠設備登陸或在台相對投資、資金籌措計畫等方式進行專案審查。