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STS推出VPX 直立式傳輸平台
 

【CTIMES/SmartAuto 報導】   2006年02月07日 星期二
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製造和封裝MEMS(微機電系統)與電子元件所需的電漿制程技術廠商Surface Technology Systems plc(STS)宣佈推出VPX。新的VPX平台能讓三個晶圓處理艙同時使用一個低成本的共同晶圓傳輸系統。VPX的設計目的，是為了減少發展如燃料電池與MEMS自動感應器等終端市場試產所需設備的成本，同時，VPX也讓支援STS製程模組系列產品的平台更為完整。VPX的推出，延續STS平台系列可與任何製程模組結合的策略，符合客戶多樣化的商業模式與晶圓產能。
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關鍵字： STS  半導體製造與測試 
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