根据市调机构Gartner Dataquest的最新调查报告指出，2002年全球晶圆厂设备市场规模从2001年的236.6亿美元减为162亿美元，出现31.5％的衰退。以地区市场来看，欧洲与日本市场的衰退幅度最大；晶圆设备市场龙头则由美商应用材料（Applied Materials）夺得。

该报告指出，各领域市场在2002年受景气复苏缓慢之拖累，电化沉积（ElectroChemical Deposition；ECD）及低密度电浆沉积（Plasma Deposition），衰退11.2％与8.1％；但新兴技术如原子层沉积（Atomic Layer Deposition；ALD）及矽锗磊晶，则各有53.2％与55％的成长幅度。

以区域市场来看，欧洲市场退步最多，在2002年大幅衰退46％，此外日本亦出现近45％的衰退，美洲市场则有29％的衰退幅度。整体亚洲市场在大陆市场之成长带动下，仅下滑12.8％，韩国滑落27％，台湾则下滑10％。在地区厂商部分，日系与美系设备厂商各衰退41.5％与30.4％，欧系厂商则有4.8％的成长幅度。

以市占率来看，北美业者市占率从51.3％，提高为52.2％，日本业者市占率则减少5％，由36.6％减为31.3％，欧洲业者则从9.1％成长至13.9％。就个别厂商来看，2002年应用材料以36.72亿美元的销售额，与22.2％的市场占有率，拿下晶圆厂设备市场龙头业者头衔；TEL与ASML则以10.1％与9.7％的市占率分列二、三名。

Dataquest指出，前10大晶圆设备厂商的市占率总计，由70.9％增加为71.3％。应用材料、诺发（Novellus）、ASML及日立（Hitachi）的市占率均有成长，其中又以ASML增加4.3％的成长表现最佳。