专利权争端不断，根据日本日经社报导指出，日本微影设备供应商Nikon再度控告荷兰微影设备供应商ASML，控告ASML侵犯Nikon于日本、南韩的多项专利权，包括ASML的步进照像机（Stepper）及扫描机（Scanner），因此要求ASML停止于日本、南韩的侵权行为，并且必需赔偿Nikon损失。

自去年始，全球市占率名列一、二的Nikon与ASML便不断进行互告的行动，以行动维护自身的权益。去年12月，ASML要求法院禁止Nikon停止侵权行为，包括制造和销售涉及侵害其专利的平版印刷投映系统；今年8月ASML又向日本法院，指控Nikon涉嫌侵犯ASML的9700万欧元专利权。 ASML和Nikon的专利纷争，至今仍于美国国际贸易委员会（ITC）及北加州联邦法院审理当中。

此次争端中的步进机，是晶圆厂制程中极重要的关键设备，据粗略估计，以一座月产能约2万5000片的8吋厂来说，需要25～30台的步进机，占设备成本18％，而主要供应商即为Nikon、Canon。