亞舍立科技（Axcelis Technologies）供應先進半導體製程設備，包括離子植入（Ion Implant）、快速熱處理（RTP）、清洗（Cleaning）與固化（Curing）等設備。其業務涵蓋全球前20大的晶片製造商，並與日本住友重工SHI合資（50％-50％）設立日本SEN Corporation以服務日本市場。目前並積極佈局全球以及亞太市場。

《圖一　Axcelis資深行銷副總裁Mark Namaroff》

Axcelis資深行銷副總裁Mark Namaroff表示，Axcelis所推出的Optima HD離子植入設備，是專為傳統高劑量離子植入及65nm以下元件製造應用擴展而開發的離子植入設備。Optima HD離子植入設備的特點是離子能量低，高劑量系統可為市場提供從200eV到80keV的最寬的能量範圍，有助於客戶覆蓋所有傳統高劑量植入設備，同時可為重要的中劑量應用提供最多的功能性和投資效率。Optima HD也支援形成雙重多晶（dual poly）門和矽絕緣體應用分子和氫的植入，可以提高設備的速度和性能。

Axcelis的表示，Optima HD是市場上最精確、通用和具備高劑量植入生產能力的設備。與Optima平台一樣，當市場進入65nm以下製程技術時，Axcelis便設計了Optima HD，以滿足電晶體製作過程中所發生的基本變化。Optima HD的問世證明了Axcelis的策略正確，也就是開發可擴展的植入技術，為大多數客戶提供滿足當前需求的最大靈活性，同時應對新一代電晶體設計和元件結構方面新的挑戰。
...
...