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imec观点:微影图形化技术的创新与挑战
 

【作者: imec】2023年05月15日 星期一

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此篇访谈中,比利时微电子研究中心(imec)先进图形化制程与材料研究计画的高级研发SVP Steven Scheer以近期及长期发展的观点,聚焦图形化技术所面临的研发挑战与创新。


本篇访谈内容,主要讲述这些技术成果的背後动力,包含高数值孔径(high NA)极紫外光(EUV)微影技术的进展、新兴记忆体与逻辑元件的概念兴起,以及减少晶片制造对环境影响的需求。


怎麽看待微影图形化这块领域在未来2年的发展?
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