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羅門哈斯CMP表面溝槽設計拉動市場需求 (2008.09.15) 羅門哈斯電子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)旗下的研磨技術事業部(CMP Technologies)宣佈,其新型化學機械研磨墊表面溝槽設計能夠減少缺陷和研磨液的用量,現已迅速得到全球各地市場的認可 |
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羅門哈斯擴建亞太製造廠 增加在台投資 (2008.08.01) 羅門哈斯電子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)旗下的CMP Technologies事業部,宣佈將擴大其台灣新竹亞太區研磨墊工廠的投資,以加快提高產能,滿足亞洲半導體生產客戶不斷增長的需求 |
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羅門哈斯槽溝新設計使鎢CMP耗材成本降低20% (2008.04.28) 羅門哈斯電子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)CMP Technologies事業部推出了一項IC1000 AT和VisionPad CMP拋光墊的革命性槽溝設計。此項新型設計能夠降低高達35%的耗漿量,這相當於將鎢CMP的總耗材成本降低約20% |
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IBM和羅門哈斯將合作開發先進製程CMP技術 (2008.03.07) IBM和美國羅門哈斯(Rohm and Haas)兩公司將共同開發用於32~22nm製程的CMP(化學機械研磨)技術。據了解,兩公司主要的合作開發技術,在於32~22nm製程下的Cu/低介電率(low-k)絕緣膜的平坦化所需襯墊(Pad)、漿液(Slurry)及調節器(Conditioner)間的相互控制 |