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罗门哈斯CMP表面沟槽设计拉动市场需求 (2008.09.15) 罗门哈斯电子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)旗下的研磨技术事业部(CMP Technologies)宣布,其新型化学机械研磨垫表面沟槽设计能够减少缺陷和研磨液的用量,现已迅速得到全球各地市场的认可 |
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罗门哈斯扩建亚太制造厂 增加在台投资 (2008.08.01) 罗门哈斯电子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)旗下的CMP Technologies事业部,宣布将扩大其台湾新竹亚太区研磨垫工厂的投资,以加快提高产能,满足亚洲半导体生产客户不断增长的需求 |
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罗门哈斯槽沟新设计使钨CMP耗材成本降低20% (2008.04.28) 罗门哈斯电子材料(Rohm and Haas Electronic Materials)CMP Technologies事业部推出了一项IC1000 AT和VisionPad CMP抛光垫的革命性槽沟设计。此项新型设计能够降低高达35%的耗浆量,这相当于将钨CMP的总耗材成本降低约20% |
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IBM和罗门哈斯将合作开发先进制程CMP技术 (2008.03.07) IBM和美国罗门哈斯(Rohm and Haas)两公司将共同开发用于32~22nm制程的CMP(化学机械研磨)技术。据了解,两公司主要的合作开发技术,在于32~22nm制程下的Cu/低介电率(low-k)绝缘膜的平坦化所需衬垫(Pad)、浆液(Slurry)及调节器(Conditioner)间的相互控制 |