安捷倫科技（Agilent）於日前宣佈，推出Agilent G200奈米壓痕測試儀平台專用的創新奈米壓痕技術。其賦予研究人員利用該技術，可快速、容易且對薄膜材料進行基板獨立量測。該技術很適合用來評估軟基板上硬待測樣品的彈性模數，或硬基板上軟樣品的彈性模數。

台灣安捷倫科技董事長暨電子量測事業群總經理張志銘表示，安捷倫的應用科學家針對存在已久的奈米壓痕測試挑戰，設計了一款易於操作的智慧型解決方案。該新的技術對於各領域正在進行的研究工作，將產生直接的影響。

使用奈米壓痕技術來評估薄膜材料的彈性模數時，基板的影響是很常見的問題。假如薄膜材料的厚度和基板模數是已知的，則該技術可以從受基板影響的模數量測值萃取薄膜材料的模數。因此，該技術相當適用於各種薄膜基板系統。

Agilent G200奈米機械測試儀器，其利用電磁啟動，在力（force）和位移（displacement）動態範圍。此外，Agilent G200並符合ISO 14577標準，可量測楊氏模數和硬度值，並可執行涵蓋10的6次方的變形量測 – 從奈米到毫米。