是德科技（Keysight）日前推出第三代的Keysight P9000系列大規模並聯參數測設系統，可加速推動新技術的發展，並且降低先進半導體邏輯和記憶體IC的研發和製造成本。舉例而言，新型元件結構和更高的效能，讓每個先進技術節點（小於或等於20 nm）所需的參數測試資料急遽增加。

最新的參數測試解決方案使用「TRUE」參數接腳架構，並利用增強的直接電荷量測技術大幅提高測試速度

Keysight P9000可使用專用的接腳測試單元模組，在矽晶圓上進行100-pin多元件並聯測試。該模組具有參數測試所需的所有基本量測功能，例如電壓、電流、電容、脈衝和頻率。此外，直接電荷量測（DCM）技術使得高速100-pin並聯電容量測變得可能。

第二代P9000包含是德科技研發的快速Vt量測技術，可提供單次臨界電壓（Vt）量測，因此量測速度比任何傳統測試方法快了四倍以上。除了100-pin並聯量測外，DCM和高速Vt量測技術所提供的更快速單一參數量測，進一步增進了測試速度。因此，先進晶圓代工廠和記憶體製造商紛紛採用第一代和第二代P9000平台作為他們的下一代參數測試解決方案。

隨著第三代P9000的問世，加上Keysight P9015A接腳參數測試模組的輔助，該測試儀進一步縮短了電容量測時間，並解決因多層互連和新元件架構導致電容測試量增加的問題。新模組使用增強的DCM技術，可量測洩漏電容，將單一電容量測速度大幅提升了兩倍以上。相較於傳統的LCR量測儀器，它與各種類型的電容都有很好的資料相容性。此外，100-pin並聯電容量測也讓客戶得以顯著提高量測速率量。

台灣是德科技總經理張志銘表示：「目前已有數百台Keysight P9000被全球半導體公司用於研發和量產，例如先進的邏輯晶圓廠和記憶體製造商。是德科技將持續增強P9000，以降低客戶的上市時間和測試成本。第三代P9000提供最快的並聯參數測試解決方案，具有100接腳的TRUE參數接腳模組，即使在傳統測試系統的測試結構中也能快速運作。」