吉时利仪器（Keithley）于日前宣布，针对S530参数测试系统的进行数个更新；S530参数测试系统目前广泛用于半导体产业。这些更新包括增加吉时利最新的高处理量切换主机、协助完整切换讯号，实现更佳的低阻抗量测准确性的探针卡全系列凯文四线式量测法，保护灵敏系统仪器免受高压损坏的新硬件防护模块，以及一个完整的探针系统规格和诊断工具组合。

S530参数测试系统业经质量认证，包括内建的诊断功能、探针卡的系统规格以及符合业界标准，如CE、SemiS2和S8。

S530系统被设计为可应用在生产参数测试环境中各式产品组合、或是广泛应用的弹性和测试开发的速度尤其重要的地方。S530测试系统所采用的成熟电源量测技术和高传真讯号信道(high fidelity signal pathways)，确保其领先业界的量测准确度和可重复性。

目前有两款不同的S530系统可供选择：低电流量测版本是针对次临界漏电流(sub-threshold leakage)、闸极漏电流(gate leakage)等特性量测；高电压版本是提供氮化镓、碳化硅和硅 LDMOS功率组件所要求的崩溃及泄漏测试(breakdown and leakage test)。S530低电流系统(具有2至8 个SMU信道)提供sub-picoamp量测分辨率和到探针端所有路径的低电流防漏机制。S530高压系统(具有3至7 个SMU信道)包含一台电源量测单元(SMU)，在20mA下可输出高达1000V(最大功率20W)功率。S530系统经适当配置，可达成制程控制监控、制程可靠性监控及组件特性分析中所需的所有直流和C-V量测应用。