Advanced Energy發佈下一代穩定和可重複的精密射頻功率電源系統，協助客戶在下一代半導體製造中擴大產出和收益。eVerest射頻訊號產生器專為埃米時代蝕刻和沉積製程所需的精確電漿控制而打造，能夠支援高度可配置的多階層功率脈衝，從而整合到任何現有電漿功率輸送系統中並改進這些系統。該平台提供3至10千瓦的輸出功率和1至60兆赫的頻率，並能帶來高達100千赫的高精度寬脈衝頻率。

此外，並提供高速輸出設定值回應、過渡狀態之間的受控過衝，以及能存取複雜物聯網資料生態系統的功能，使製造商能夠開發用於sub-2 nm沉積和蝕刻剖面的先進、可重複製程。

Advanced Energy負責電漿功率產品的資深副總裁Juergen Braun表示：「半導體產業的使命是經由日漸小型化的晶片提供更佳的性能，而我們現正邁向埃米時代，日漸複雜的3D結構和創新製程可以用原子尺度測量尺寸。」Advanced Energy因應埃米時代裝置製造商對變革性高精度電漿控制的需求，增加製程視窗，擴大穩定的操作範圍，而盡量擴大產出和收益。

eVerest是完整的射頻功率輸送系統，具有適用於阻抗匹配解決方案的多種選擇，並可與其他Advanced Energy的創新產品智慧同步化，從而促成即時或用戶定義的過渡步驟時序控制，以促進蝕刻和沉積動力學的最佳化。eVerest的高速射頻輸出回應低於200μs，脈衝狀態上升/下降時間可低至2μs以下。多階層脈衝的動態控制為能量狀態和分佈開闢各種新的可能性。

當與PowerInsight by Advanced Energy物聯網資料生態系統整合時，以eVerest為基礎的解決方案允許操作人員存取高解析度、高頻寬的嵌入式或系統級資料，以支援更快、更正確的製程特性和故障排除，並且無需進入電漿腔體安裝示波器，從而減少停機時間。