安捷倫科技（Agilent）於日前宣佈，推出Agilent 8500場發射型掃描式電子顯微鏡（FE-SEM）。Agilent 8500是一個小型系統，它為研究人員提供了在他們自己的實驗室，進行低電壓、高效能成像所需的場發射型掃描式電子顯微鏡。

安捷倫科技推出小型掃描式電子顯微鏡

創新的Agilent 8500經最佳化後可提供低電壓成像能力，超高的表面對比，以及通常只有在較昂貴的大型場發射型顯微鏡中才看得到的解析度。Agilent 8500 FE-SEM的大小與雷射印表機差不多，並且提供方便的即插即用效能。不需要用到專屬的設備，只要一個交流電源插座就夠了。獨特的科學等級系統提供了好幾種成像技術，可增加材料的表面對比。透過Agilent 8500可觀察各種奈米結構材料上的奈米特性，包括任何基板（甚至玻璃）上的聚合物、薄膜、生物材料、以及其他能量敏感度高的樣本。

Agilent 8500 FE-SEM在非導電樣本的處理上可以不需要鍍膜，因鍍膜可能遮蔽奈米特性；也不需藉助加壓操作，加壓操作可能會降低解析度。連續改變的成像電壓可以當成一個操作參數在500 V到2000 V的範圍內進行調整，而非當作一個設定選項。此外，該系統使用一個四段式微通道板偵測器，沿著兩個正交方向提供拓樸成像，以增加表面細節。該技術已被證實可清楚解析結晶物質（例如多形體結構的6H-SiC）表面上的次奈米原子台階。

矽基微製造（Silicon-based microfabrication）技術，讓安捷倫得以設計和製造一個小型的靜電電子束，並將它與場發射型電子源結合以構成Agilent 8500。Schottky場發射型電子源可提供高亮度及一致、持久的效能。該系統的輔助和反向散射電子偵測功能，可為每個樣本提供豐富的資料。