Axcelis Technologies推出全新Integra RS干式光阻去除清洗系统，让Axcelis先进制程能力拥有更高的生产力与弹性。此一全新系统已有现货供应，可为目前市场上的尖端内存与逻辑组件提供最高的制造生产力。

Integra RS系统独特的多反应室（multi-chamber）设计包括了成对的反应室制程模块，可以达成最高产出。由于每一成对的反应室皆可以独立运作，因此用户在单一模块执行维修或预防保养（PM）时, 其他模块仍可持续运作而不影响产能。在各种先进清洗制程的应用,这项弹性的功能让此一系统成为大量生产环境中的最佳选择。同时，此一平台也具备了解决未来技术节点所要求的挑战，像是采用先进微影与high-k金属闸（High-K/Metal Gate）等技术。

Axcelis已在今年第三季运交两套Integra RS系统；第一套将运送至欧洲先进的研究单位以支持32/22nm的合作研究计划，而第二套系统则将运交给本公司现有的内存制造客户。