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亞東工業氣體司馬庫斯廠落成 強化在台半導體材料供應鏈韌性
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2024年03月12日 星期二

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亞東工業氣體於竹科舉辦司馬庫斯廠落成典禮,大幅拓展電子級氣體供應量能,並透過創新科技,降低單位碳排放量。亞東工業氣體在台深耕逾38年,長期以高品質之工業氣體、特殊氣體與先進材料,支持半導體產業發展。

亞東工業氣體司馬庫斯廠落成典禮
亞東工業氣體司馬庫斯廠落成典禮

位於新竹科學園區內的司馬庫斯廠為亞東全台最大廠區,生產半導體製程中關鍵的電子級氮氣、氧氣、氬氣等產品,該廠落成後,將大幅提升現有生產量能,並透過地下管線就近將所需氣體輸送給客戶,不僅提升供應效率、可靠度與信賴度,更減少碳排。為滿足半導體產業對電子級氮氣的大量需求,亞東更導入母公司法國液空集團的創新技術,首度於司馬庫斯廠引進新世代大型電子級氮氣生產設備,此設備不僅能大量生產高純度氮氣,運轉效率更較現有機型提升10%。

關鍵字: 電子級氮氣  氧氣  氬氣  亞東工業氣體 
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