近日上海交通大學與日本精工電子（Seiko）宣佈成立「上海交通大學─精工電子微製造、複合科學技術聯合實驗室」，日本精工為該實驗室提供1.4億日元之FIB-SMI2200微集離子束設備以及相關配置設備。成立該實驗室的目的，為促進上海之新材料電子產業及微加工技術的科學研究、技術應用的發展。

上海交大材料科學與工程學院院長毛大立表示，日本精工提供FIB-SEI2200設備與上海交大金屬基複合材料國家重點實驗室掃描電子顯微鏡、分析透射電子顯微鏡等儀器設備，構成微加工製造和材料分析的平台，形成材料的微加工─微複合、微分析一體化的研究平台，該平台將為上海電子產業和新材料發展，提供有助產業的技術支援。

據了解，該設備適用於直接對8英吋半導體材料進行微細加工，微電路的加工、修復等，並可對三維奈米精密度的物體進行制備加工。