據經濟日報報導，工研院電子所表示，聯電已允諾捐贈價值7000萬元的化學機構研磨機（CMP）模組二部機台，提供電子所「奈米電子共同實驗室」做為下一世代奈米電子相關技術之研發，並規劃在7月份進行機台遷入作業。

目前工研院奈米電子共同實驗室擁有CMOS後段銅製程的大部分機台，並陸續建置磁性材料、相變化材料專屬的濺鍍機、蝕刻機、及電子束讀寫機等先進機台中，提供使用者聯盟廠商進行磁性記憶體（MRAM）、相變化記憶體（OUM）、形變矽元件、高介電質閘極介電物等技術的開發。

電子所所長徐爵民表示，電子所在進行先進技術的研發歷程中，一直與國內外廠商有密切的合作關係，過去半導體製造廠、半導體材料與設備等業者，都有提供機台予電子所實驗室使用；此種研究單位與產業界共同開發前瞻技術、未來實際應用於產業界的合作模式，對於國內半導體產業發展，可說貢獻良多。