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中芯預計2006年底開始生產65奈米晶圓
 

【CTIMES/SmartAuto 王岫晨 報導】   2005年08月25日 星期四

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中芯國際執行長張汝京於上海公佈製程研發新計畫,中芯已進口12吋晶圓廠65奈米製程設備,並展開研發階段,希望2006年底前可推出65奈米製程。

另一方面,在晶圓代工業界向來在價格上極肯讓步的中芯報價,自八月一日起也展開第一波調漲動作,調升幅度依客戶等級不同,約在3%至5%左右。即使微幅調價,中芯報價仍然遠低於台積電及聯電的報價水準。業界人士指出,中芯在LCD驅動IC上的一家大客戶,投片中芯0.35微米製程,拿到300多美元的價格,極為優惠,台積電在同等製的報價還在1000美元左右。

中芯位於北京亦庄的12吋廠,去年完工時就已蓋好三個廠的硬體部份,其中已經開始投產為晶圓四廠,今年初晶圓六廠開始裝機,至今設備產能約有千片水準,這座廠「基本上可做90奈米」。據指出,中芯北京晶圓六廠,主要仍依循上海中芯八吋廠模式,就是以一座廠專門處理銅製程,因銅材料性活潑,常造成生產線污染。中芯上海八吋廠的三廠,就是專門生產德儀0.13微米銅製程產品的生產線,現在北京12吋廠的六廠,應也會導入德州儀器的銅製程IC產品。

至於中芯製程研發進度,90奈米正在客戶驗證產品中,照進度今年內應可進入量產,希望明年可推出65奈米製程,再試45奈米,希望可以逐漸與國際大廠的技術進度接軌,減少差距。此外,中芯天津八吋廠區目前以0.35至0.15微米為主,不久後將試產0.13微米。上海區三個八吋廠由0.35至0.13微米,目前90奈米正在驗證中。

關鍵字: 中芯國際集成電路 
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