外電消息報導,中國科學研究院日前表示,已成功開發出第一片使用8吋晶圓的SOI晶片,該晶片的研發成功,意味著中國的晶片生產技術更往前邁進了一個里程碑。
據報導,中國科學研究院上海微系統與資訊技術研究所,突破了清洗、鍵合(Bonding)、研磨和拋光等關鍵技術。利用改造現有的設備,實現了在8吋矽晶圓的旋轉式單片清洗,並自行設計開發了大尺寸晶片鍵合平台,並在此平台上實現了8吋晶片鍵合。
由於8吋SOI晶圓的開發成功,該單位也掌握了大尺寸鍵合SOI晶片製造的關鍵技術,為未來大尺寸鍵合SOI晶片的發展奠定了基礎。
SOI為Silicon On Insulator的簡稱,最早為IBM所開發,並用於MAC電腦的PowerPC G4處理器上。所謂SOI是絕緣體的意思,原理是在矽電晶體之間,加入絕緣體物質,使兩者之間的寄生電容比原來的少上一倍。優點是可以較易提升時脈,並減少電流漏電。