GLOBALFOUNDRIES近日宣佈，將與SVTC技術公司結成戰略聯盟，以加速進行微機電系統（MEMS）的量產製造。

微機電系統（MEMS）是半導體市場成長最快的區塊之一，MEMS應用廣泛，從車用感應器、到噴墨印表機、到高階智慧型手機與遊戲控制器都有MEMS的應用。然而，MEMS的製造過去主要局限於特定的晶圓製造廠，採用「單一製程、單一產品」的模式。為了讓MEMS市場得以持續快速成長，GLOBALFOUNDRIES正採取積極策略，透過與CMOS流程類似的標準化模式，將MEMS從特定製造平台轉移到量產平台。

200mm晶圓事業部進階副總裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡總經理Raj Kumar表示，該公司目前已有計畫要增加基礎建設與專業技術來支援在3E晶圓廠提供專屬的MEMS生產線，目標是在2011年第三季前開始MEMS裝置的量產。新興矽晶圓科技商用服務供應商SVTC，將提供全面的開發設施，協助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先進CMOS與MEMS設備，為顧客開發矽晶圓解決方案。SVTC也將為GLOBALFOUNDRIES工程師提供MEMS技術研發支援及培養訓練。

GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研發將先著重於三種應用︰加速計、陀螺儀及無線電射頻微機電系統。加速計在手機與消費電子產品上提供進階用戶體驗；陀螺儀提供個人導航的影像穩定與方向偵測能力；無線電射頻微機電系統則支援手機的多頻段操作，同時縮小手機體積並減少電力消耗。