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Low-K製程開啟晶片生產新紀元
 

【CTIMES/SmartAuto 鄭妤君 報導】   2004年02月16日 星期一

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據中央社報導,台積電於今年宣布邁入「低介電常數」(Low-K)製程新紀元,使得許多新的先進產品得以運用低介電常數薄膜當作隔離材料,藉由低介電材質提高速率,並且以更低的線路干擾減少耗電,增進效能。

台積電已在130奈米及90 奈米的製程上使用這項薄膜材料,包括LSI Logic、ATI、 Agere、Altera等業者的晶片皆已開始採用此種製程。而Low-K製程的問世,除了台積電的努力之外,美商應用材料公司(Applied Materials)也佔有一席重要要地位。由應材所開發的「黑鑽石低介電常數薄膜」(Black Diamond Low film)是目前用來生產Low-K製程晶片最先進的指標。

除台積電外,包括傑爾系統(Agere Systems)、超微(AMD)等公司均運用黑鑽石低介電常數 薄膜來生產世界最先進的晶片。截至目前為止,使用黑鑽石低介電常數薄膜來驅動的晶片超過4000萬顆,並即將取得市場優勢,應用在各項產品上。

關鍵字: Low-K  台積電(TSMC
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