晶圓接合暨微影技術設備商EV Group（EVG）今天宣布已在奧地利的企業總部，完成興建全新五號無塵室大樓。全新的大樓從頭到尾採用最新無塵室設計與建築技術，並讓EVG總部的無塵室產能幾乎增加一倍，未來將用於開發產品與製程的展示設備、開發原型機和試量產的服務。五號無塵室大樓是去年宣布的3,000萬歐元投資的一部份，預計將於八月正式啟用。

EV Group的五號無塵室設施的先進附屬製造無塵室（sub-fab），用以確保最高的妥善率與全新的安全功能

全新的五號無塵室大樓直接與EVG現有的無塵室及應用實驗室相連，可以提供約620平方公尺十級無塵室的額外樓板空間。新大樓同時設有可在EVG設備平台上訓練客戶與工程師的多個專屬區域的現代化訓練中心。這次的擴大投資也包含現有的無塵室與應用實驗室設施的升級，並確保最高的妥善率與全新的安全功能。

強化EVG核心技術

全新的五號無塵室大樓增加的產能，將強化EVG提供世界級製程開發服務的NILPhotonics技術中心與異質整合（Heterogeneous Integration）技術中心的能力，並為微電子供應鏈的客戶與合作夥伴，提供開放的創新育成中心。透過這些卓越的核心技術，EVG協助客戶加速技術開發、將風險降至最低，並利用奈米壓印微影技術與異質整合，協助開發出具差異化的技術與產品，同時確保發表產品前所需的最高智慧財產（IP）保護標準。

EV Group技術開發和IP總監Markus Wimplinger表示：「我們對於興建這座全新無塵室所涵蓋的技術創新與專業知識，感到非常自豪。從整座建築到最微小的細節，這可謂一座真正世界級、最先進的設施，可以說是與一些歐洲技術最先進的無塵室平起平坐。」

Markus Wimplinger進一步指出：「對於EVG而言，這座新設施將大幅強化我們與客戶共同開發未來應用與技術的能力，我們認為它將讓近來特別活躍且需求極高的技術中心受益。我們的NILPhotonics與異質整合技術中心提供的獨特服務，讓我們的客戶與合作夥伴得以縮短開發週期，並在這些關鍵的應用領域打造出卓越的產品。」

擁有各個技術中心與強大客戶夥伴關係的EVG處於獨特的地位，可以為客戶提供不間斷的製程開發服務與支援。在此同時，EVG的在地安裝與支援團隊以及遠端的支援能力，讓EVG的設備得以持續進行優秀的安裝與服務。

EVG亦於7月20日至23日舉行的線上SEMICON West展示其完整的晶圓接合、微影與光阻製程解決方案。