根據市調機構Gartner Dataquest的最新調查報告指出，2002年全球晶圓廠設備市場規模從2001年的236.6億美元減為162億美元，出現31.5％的衰退。以地區市場來看，歐洲與日本市場的衰退幅度最大；晶圓設備市場龍頭則由美商應用材料（Applied Materials）奪得。

該報告指出，各領域市場在2002年受景氣復甦緩慢之拖累，電化沉積（ElectroChemical Deposition；ECD）及低密度電漿沈積（Plasma Deposition），衰退11.2％與8.1％；但新興技術如原子層沉積（Atomic Layer Deposition；ALD）及矽鍺磊晶，則各有53.2％與55％的成長幅度。

以區域市場來看，歐洲市場退步最多，在2002年大幅衰退46％，此外日本亦出現近45％的衰退，美洲市場則有29％的衰退幅度。整體亞洲市場在大陸市場之成長帶動下，僅下滑12.8％，韓國滑落27％，台灣則下滑10％。在地區廠商部分，日系與美系設備廠商各衰退41.5％與30.4％，歐系廠商則有4.8％的成長幅度。

以市佔率來看，北美業者市佔率從51.3％，提高為52.2％，日本業者市佔率則減少5％，由36.6％減為31.3％，歐洲業者則從9.1％成長至13.9％。就個別廠商來看，2002年應用材料以36.72億美元的銷售額，與22.2％的市場佔有率，拿下晶圓廠設備市場龍頭業者頭銜；TEL與ASML則以10.1％與9.7％的市佔率分列二、三名。

Dataquest指出，前10大晶圓設備廠商的市佔率總計，由70.9％增加為71.3％。應用材料、諾發（Novellus）、ASML及日立（Hitachi）的市佔率均有成長，其中又以ASML增加4.3％的成長表現最佳。