一個具有競爭力的晶圓廠必須一方面做到高儀器利用率，一方面又使處於製程中的晶圓量維持在最低，同時還必須讓晶圓生產周期壓縮到最短。這兩項要求可能互相矛盾。而解決的關鍵是不要讓簡稱為「AMHS」的「自動物質處理系統」成為晶圓處理過程中的瓶頸，限制了晶圓廠的表現。

為半導體及平面顯示器製造廠提供整合式自動化解決方案的供應商Asyst，宣布推出Agile Automation，這是一種在半導體晶圓廠新的自動化物料處理（Automated Material Handling）方式。

Agile Automation可大幅增加晶圓廠的生產力，透過模組化增強現有AMHS制度。Agile Automation具有並行加載和卸載幾項工具的功能，同時大幅度減少對搭載置頂輸送工具（Overhead Transport Vehicles；OHV）的依賴。這樣造成顯著縮短且更可預測前開式晶片傳送盒（FOUP）運輸時間和大幅改善吞吐量與工具的使用。

由於其靈活和模組化結構，Agile Automation可簡單地與標準工廠自動化系統整合，不論是在現有或新建的環境。這有助於提高晶圓廠生產力的管理及低風險方法。使用Agile Automation方案，晶圓廠可以減少地面空間的需求，、並減少工具與降低功率消耗。

Agile Automation整合Asyst硬體、軟體和服務的能力，及允許定制透過業界標準介面與晶圓廠環境整合的應用。Asyst整合若干新技術成為Agile Automation解決方案的一部份，這包含為懸吊式搬運車系統（OHT）獨立工具裝載的DLT Lifting Load port。其他新技術及產品包含Satellite Stocker，它提供高效率的近工具的緩衝，適用於高速、高運量材料處理在製程區內（Intra-Bay）和製程區間（Inter-Bay）應用的Velocity HTC傳輸帶。Asyst新的VAO軟體可允許晶圓廠製程和物質流即時視覺化。Agile Automation是由Asyst的全球服務團隊所支援。

Asyst正在生產Agile Automation解決方案並支援其產品。該公司已在多個生產環境安裝了輸送機產品，且近期也獲得台灣半導體晶圓代工廠的Velocity輸送訂單。第一客戶安裝Asyst VAO軟體的客戶是日本記憶體大廠。