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台德合作引進最先進雷射源 啟用全台首座雷射應用服務中心
 

【CTIMES/SmartAuto 陳念舜 報導】   2021年11月22日 星期一

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繼台積電宣佈投資高雄後,南台灣半導體產業發展再添利多!全台首座「台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心(以下簡稱應用服務中心)」日前已宣佈於工研院台南六甲院區正式啟用,並在經濟部推動下,引進來自德國創浦公司(Trumpf)的4台亞洲僅有高階脈衝雷射,成立除德國以外的全世界最高階應用服務中心,料將加速台灣半導體設備的開發速度,預期可帶動超過40億元產業效益。

台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心引進來自德國創浦(Trumpf)的4台亞洲僅有高階脈衝雷射,成立除德國以外的全世界最高階應用服務中心,將加速台灣半導體設備之開發速度。
台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心引進來自德國創浦(Trumpf)的4台亞洲僅有高階脈衝雷射,成立除德國以外的全世界最高階應用服務中心,將加速台灣半導體設備之開發速度。

根據國際半導體產業協會(SEMI)統計,2021年台灣半導體設備投資將高達1618億元,成為全球第二大市場,預估明年至少再成長5%,重返全球第一名。經濟部技術處觀察,未來半導體製程持續往2~3nm等更先進製程發展,該應用服務中心所導入的雷射源為現今全世界最高階超快雷射,足以在低溫下切割世界第三硬的SiC材料,使得雷射設備應用在半導體領域成為不可或缺的技術要角。

經濟部技術處處長邱求慧表示,據統計去年台灣整體雷射設備進口值約新台幣220億元,是出口值的10倍之多,其中半導體雷射設備進口值約占50%以上,可見若積極推動台灣半導體雷射設備國產化發展替代,將為台灣設備廠商帶來龐大商機,將過往送件到海外測試、打樣到完成設備開發的時間縮短半年以上,並減少每年約1億元的打樣驗證成本;同時還能結合在地南部雷射產業需求,打造台南雷射加工應用重鎮,協助台灣機械業升級轉型往半導體產業發展,打進全球半導體與電子設備產業供應鏈,預估帶動商機將達40億元以上。

機械公會名譽理事長柯拔希進一步指出,台灣機械設備廠商商長年來在半導體雷射設備市場經營不易,經常在越洋送件打樣的過程中,訂單就已被日本、美國、德國、韓國等雷射設備商搶走,主因就是台灣沒有半導體加工所需的高階雷射源和打樣中心。柯拔希說:「很高興等到先進雷射應用服務中心啟用,我相信科技始終來自於機械,設備商在這一波轉型中扮演重要角色,將提升國內產業先進製程加工及技術研發效率,減少重複投資成本,為台灣製造業的升級轉型注入一劑強心針。」

工研院院長劉文雄表示,該先進雷射應用服務中心提供國際級快速測試驗證服務,並結合了工研院雷射製程與光路技術系統、德國創浦高階雷射源與大銀微公司精密平台,提供台灣雷射設備系統整合及產業人才最先進製程技術教育訓練,將加速台灣廠商導入高階雷射應用、升級轉型,並使台灣雷射產業逐步突破目前仰賴進口高階雷射模組和設備的現況。

台灣創浦公司總經理鄭勇志表示,創浦集團此次特別提供4台全亞洲獨有的最新型雷射源,包括皮秒紫外光雷射源、皮秒綠光雷射源、飛秒綠光雷射源、飛秒紅外光雷射源,搭配台灣自主開發高速精密平台,加上工研院研發的專用光路模組及製程控制技術,適用矽基板、玻璃基板、碳化矽基板、PFO載板等半導體3D IC先進封裝與化合物半導體製程,提供台廠高品質、高效率生產設備,是「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的光製造技術,期盼透過台德技術合作,共創新商機。

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