台積電副總執行長曾繁城一日對政府開放八吋晶圓廠赴大陸投資表示歡迎，對於台積電十二吋廠運轉狀況，他表示目前月產能約三千片，最近並將有多項客戶產品驗證通過，估計二、三個月內可達到量產規模；另一方面，聯電業務長劉富臺二日亦表示，聯電近期產能擴充的速度相當快，主要都是用在擴充12吋晶圓廠上。他說，聯電12吋廠、0.13微米製程已開始有實際產出，主要就是美商智霖(Xilinx)已開始下單投產。

劉富臺說，衡量12吋晶圓廠的經濟生產規模不用到月產2萬片，因為即使是月產1萬片的產能，也等於是8吋晶圓廠2.25萬至2.7萬片的月產能，而這已是業界認為的「達到經濟生產規模」的產能。曾繁城則認為，台積電十二吋廠產能擴充計畫也相當積極，預計今年將以每個月增加一千片的速度，年底時可達一萬至一萬三千片月產能。台積電近期也將在大陸開始評估建廠用地，將閒置的老舊設備移往生產。

至於晶圓代工雙雄會在何時提出8吋晶圓舊設備赴大陸投資的申請，曾繁城說「很多事情不用急」，大陸市場並不是今天不去明天就會餓死的。他表示，過去業界會感覺比較急是因為不知道該怎麼做，現在已經知道方向了，就可以展開佈局。