工研院計畫於91年1月成立「奈米技術中心」，初期將以從台積電回收、位於工研院院區內的台積電一廠做為基地，五年內總計將投入上百億元。目前與奈米技術有關的分項計畫，包括奈米電子、奈米材料、奈米生物、檢測與設備，及設立奈米技術中心，至於奈米生物部分，預計在93年等材料及化工等基礎研究有相當基礎後才會投入。

工研院董事長翁政義表示，奈米技術是台灣未來高科技發展的關鍵技術，明年1月工研院新成立的奈米中心，將投入新台幣100億元，全力推動奈米技術。負責奈米計畫的工研院副院長楊日昌強調，有別於以往產業由上而下的開發模式，奈米計畫則採由下而上，先打基礎的工作。

台積電並承諾把廠內適合奈米技術中心所需的設備，保留給奈米技術中心使用。奈米技術五年100億元投資計畫中，將有25億元用於設備投資，工研院將由電子所、材料所、化工所、光電所、機械所及量測中心整合各方技術專才，初期有100至200人，預計最多將達700人的規模。工研院奈米技術開發計畫將自明(91)年起先投入8億元，接著在92年投入16億元，並在93至94年達到投資高峰。