據經濟日報引述市調機構IC In-sights日前公佈之2003年全球晶圓廠資本支出調查，台積電資本以支出12.5億美元排名第三，僅次於英特爾與三星，聯電則排名第十。

此外大陸晶圓業者上海宏力與中芯則分居第十七與第二十一名，國內南亞科因擴充DRAM產能而獲得第二十二名。國際半導體產能統計協會（SICAS）曾指出，第二季全球晶圓廠產能利用率為85.9％，較第一季的82.8％增加3.1％，為1994年以來的新高紀錄，顯示全球半導體市場景氣確實開始回升。

市場分析師指出，上海中芯與上海宏力，今年的資本支出分別達到4美元與5.5億美元，雖比台積電的12.5億美元、聯電的8.25億美元都低，但也成為全球半導體設備廠商的焦點。